薄膜技术与光学检测重点实验室依托西安工业大学，其前身为1955年西安工业学院光学工程系实验室（包括光学工艺、光学测量和精密仪器实验室）。1989年，在此基础上成立仪器工程实验中心，后更名为光电工程实验中心。1999年以实验中心为基础组建了陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，形成了实验教学和科研的有机结合。期间经过陕西省和学校多次投资建设，实验室的实验条件和仪器设备得到很大的补充和改善。2009年，获批为教育部与陕西省共建“薄膜与光学制造技术”实验室。实验室在西安工业大学的学科建设方面发挥着主导作用，目前支撑着西安工业大学光学工程一级学科，该学科于1993年获得硕士研究生培养权，1998年获批为陕西省重点学科，2013年获得博士生培养权，2014年建立博士后流动站，目前已经具有60多年的历史，是学校最具特色的学科之一。

实验室在长期的发展过程中，始终围绕光学先进制造技术领域的重要科学技术问题开展基础研究和应用研究，逐步形成了薄膜与等离子体技术、光学制造与检测技术、微光电器件制造技术及应用三个稳定的研究方向。